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在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀在半導(dǎo)體行業(yè)巡檢機(jī)器人上的應(yīng)用

更新時(shí)間:2023-01-11      點(diǎn)擊次數(shù):599

在半導(dǎo)體材料和器件的研究和生產(chǎn)中經(jīng)常要使用各種具劇毒高毒及易燃,易爆特性的氣體,其中最典型的即為確烷和磷烷這兩種氣體常用作一族半導(dǎo)體外延材料的生長(zhǎng)源在氣相外延(PE),金屬有機(jī)物氣相外延(IOVPE)I氣態(tài)源分子束外延(GSMBE)及化學(xué)隸外延(CBE)等中提到廣泛應(yīng)用,在其它一些平導(dǎo)體工藝如離子注人,擴(kuò)散。多品及非品硅沉積等中也常用作摻雜劑。
由于這兩種氣體均為劇毒,燃?xì)怏w,磷烷遇空氣還能自燃,因此在實(shí)際工作中無論是從影響人體健康的環(huán)保因素考慮,還是從保證安定的角度考慮,都必須對(duì)工作空間中這些氣體的環(huán)境濃度進(jìn)行有效的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),并具備可靠的泄漏安全報(bào)警裝置砷烷和磷烷的環(huán)境允許濃度甚低,分別僅為 5ppb~3o0ppb,在幾個(gè)ppm的濃度下即會(huì)產(chǎn)生急性中毒癥狀,
巡檢機(jī)器人"基于OCR和圖像識(shí)別能力,能模擬專業(yè)的人工操作,在全站多級(jí)頁面與資金交易全流程的各個(gè)場(chǎng)景進(jìn)行點(diǎn)擊、識(shí)別、檢查等巡檢操作,搭配深國安在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀,能有效的提高巡檢的速度跟人員的安全保障,

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在線磷烷砷烷二合一氣體檢測(cè)儀特點(diǎn):
1,用深國安典型的家族式盾形外觀設(shè)計(jì),配備工業(yè)級(jí)鋁合金防護(hù)外殼,堅(jiān)固耐用2,2.4英寸超大屏幕,顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項(xiàng)參數(shù);
中英文、繁體,操作界面,適合所有人群,強(qiáng)大聲光報(bào)警功能,三級(jí)報(bào)警點(diǎn)自由設(shè)置,當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時(shí),自3.
發(fā)出85dB以上的報(bào)警聲響。
同時(shí)支持一鍵消音;4,
5,強(qiáng)大的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,客戶可通過有線或無線連接,將數(shù)據(jù)打印或?qū)С?國外進(jìn)口芯片,精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)誤差率低;
6,多種信號(hào)傳輸,兼容90%以上廠家的氣體報(bào)警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機(jī)系統(tǒng),全量程溫濕度補(bǔ)償,32位納米級(jí)微處理器+24位超高ADC采集芯片,確保產(chǎn)品在運(yùn)行過程的數(shù)據(jù)穩(wěn)定;

 

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